純氧曝氣法以純氧作為氣源，所以氣相的氧氣分壓為1個(gè)大氣壓（空氣曝氣中氧氣分壓為0.2個(gè)大氣壓)。在純氧曝氣時(shí)，混合液中飽和溶解氧濃度可提高到43mg/L，而空氣曝氣的混合液中飽和溶解氧濃度僅為9mg/L左右。所以純氧曝氣的氧氣轉(zhuǎn)移速率要明顯高于空氣曝氣，污泥對(duì)有機(jī)污染物的氧化降解速度要比空氣曝氣時(shí)快得多。純氧曝氣法的水力停留時(shí)間短，只有0.5～3h，有機(jī)負(fù)荷達(dá)到2.0～q#.q#kgBOD5/(m3.d)。
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